真空碳氫清洗機是一種清洗精密工業部件的清洗設備。在日本也稱碳化水素清洗機，是使用碳化水素（HC）進行清洗

設備組成：真空碳氫設備由清洗干燥機主體、超聲波系統、真空脫氣系統、循環過濾系統、機械臂系統，真空干燥系統、真空蒸餾回收系統、HC濃度監測系統、自動滅火系統及電氣控制系統等。

1．真空清洗工作原理：清洗劑中殘存的氣體較多，含氣量是水的8-10倍，超聲波振動子發出的高周波遇到氣體（殘存氧氣）就會衰減，影響了超聲波的精密清洗效果。超聲波空化效應也難以展開，因此需要真空脫氣。首先清洗籃進入清洗槽。這時氣缸驅動槽蓋自動關閉清洗槽，真空脫氣系統啟動，將槽內空氣抽盡，在真空狀態下可以將需要清洗的產品的狹小縫隙內氣體及含在清洗劑中的氣體抽出，超聲波啟動，搖擺裝置啟動，帶動洗籃轉動，使清洗劑可以充分進行清洗；到設定的時間后，真空釋放，缸蓋打開，清洗籃進入下一槽

2．真空蒸餾回收原理：

1)加熱：采用導熱油間接加熱方式。槽體下部外附一個加熱油包，外置一個導熱油加熱箱，加熱功率為12kW。首先由發熱管對導熱油進行加溫，再通過泵浦將加熱油輸送到加熱油包，經過熱交換后再輸送回加熱箱加熱，如此循環。加熱油包有獨立的溫控系統，油溫R.T.～140℃可調

2)需要回收的清洗劑（溶劑1）經過泵抽入真空蒸餾回收槽，進入真空回收槽之前，首先進入一個熱交換筒，在此與蒸餾回收的HC蒸汽管進行熱交換。經過抽真空后，清洗劑迅速沸騰并蒸發，產生HC蒸汽，然后可在冷凝區進行冷凝回收，回收的純凈清洗劑排入儲液槽，循環使用，具有自動補液循環和漂洗使用功能。

3)強力真空減壓系統，配備真空減壓泵，真空顯示表。真空馬達為西門子，設有電磁閥。真空蒸餾回收能力為200L/H，常溫常壓下，碳化水素的沸點為172℃，減壓情況下，可以降低沸點，高溫碳化水素在減壓條件下迅速形成HC蒸汽，被真空泵一起抽出回收槽，在冷卻箱內再形成液體，經過活性碳過濾，稱為再生液，可以循環使用。

碳氫真空清洗干燥機經過碳氫真空清洗機的清洗，完全可以達到精密工業部件的清洗要求。